sistemas de tratamiento por等离子体

filtresegúnsus refisitos:

Tipo de Sistema
诺布雷
控制
血浆清洁

毫微微版本1

控制柜:
W 310 mm H 330 mm d 420 mm

腔室:
Ø3.9in,l 10.9

室内数量:
2

气体供应:
1天气通道通过针阀

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
半自动

血浆清洁

毫微微版本2

控制柜:
W 310 mm H 330 mm d 420 mm

腔室:
Ø3.9in,l 10.9

室内数量:
2

气体供应:
1天气通道通过针阀

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
半自动

血浆清洁

毫微微版3.

控制柜:
W 310 mm H 330 mm d 420 mm

腔室:
Ø3.9in,l 10.9

室内数量:
2

气体供应:
2天气通道通过针阀

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
半自动

血浆清洁

毫微微版4.

控制柜:
W 310 mm H 560 mm d 420 mm

腔室:
Ø3.9in,l 10.9

室内数量:
2

气体供应:
2天气通道通过针阀

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
半自动

等离子体激活

毫微微版5.

控制柜:
W 310 mm H 330 mm d 420 mm

腔室:
Ø3.9in,l 10.9

室内数量:
2

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
触摸屏

反应离子蚀刻

毫微微版6.

控制柜:
宽560mm宽560mm深420mm

腔室:
Ø3.9in,l 10.9

室内数量:
2

气体供应:
1天气通道通过针阀

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
半自动

等离子体涂层

毫微微版本7.

控制柜:
宽560mm宽560mm深420mm

腔室:
Ø3.9in,l 10.9

室内数量:
2

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
触摸屏

等离子体蚀刻

毫微微版本8.

控制柜:
W 600 mm H 1700 mm d 800 mm

腔室:
Ø3.9in,l 10.9

室内数量:
2

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

血浆清洁

Pico版本1

控制柜:
W 310 mm H 330 mm d 420 mm

腔室:
Ø5.9in,l 12.6

室内数量:
5.

气体供应:
2天气通道通过针阀

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
半自动

血浆清洁

Pico版本2.

控制柜:
宽560mm宽560mm深420mm

腔室:
Ø5.9in,l 12.6

室内数量:
5.

气体供应:
2天气通道通过针阀

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
半自动

血浆清洁

Pico版本3.

控制柜:
宽560mm宽560mm深420mm

腔室:
Ø5.9in,l 12.6

室内数量:
5.

气体供应:
2天气通道通过针阀

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
半自动

等离子体蚀刻

Pico版本4.

控制柜:
W 310 mm H 330 mm d 420 mm

腔室:
Ø5.9in,l 12.6

室内数量:
5.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
触摸屏

等离子体激活

Pico版5.

控制柜:
W 560 mm H 600 mm d 420 mm

腔室:
Ø5.9in,l 12.6

室内数量:
5.

气体供应:
3天气通道通过针阀

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
半自动

等离子体蚀刻

Pico版6.

控制柜:
W 560 mm H 600 mm d 420 mm

腔室:
Ø5.9in,l 12.6

室内数量:
5.

气体供应:
2天气通道通过针阀

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
半自动

等离子体涂层

Pico版本7.

控制柜:
W 600 mm H 1700 mm d 800 mm

腔室:
Ø5.9in,l 12.6

室内数量:
5.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体激活

Nano版本1

控制柜:
W 560 mm H 600 mm d 600 mm

腔室:
Ø105英寸,l 16.5

室内数量:
24.

气体供应:
2天气通道通过针阀

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
半自动

血浆清洁

纳米版2.

控制柜:
W 560 mm H 600 mm d 600 mm

腔室:
Ø105英寸,l 16.5

室内数量:
24.

气体供应:
2天气通道通过针阀

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
半自动

血浆清洁

纳米版3.

控制柜:
W 560 mm H 600 mm d 600 mm

腔室:
Ø105英寸,l 16.5

室内数量:
24.

气体供应:
2天气通道通过针阀

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
半自动

等离子体蚀刻

纳米版本4

控制柜:
W 560 mm H 600 mm d 600 mm

腔室:
Ø105英寸,l 16.5

室内数量:
24.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
触摸屏

等离子体蚀刻

纳米版本5

控制柜:
W 600 mm H 1700 mm d 800 mm

腔室:
Ø105英寸,l 16.5

室内数量:
24.

气体供应:
2天气通道通过针阀

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
半自动

等离子体涂层

纳米版本6

控制柜:
W 600 mm H 1700 mm d 800 mm

腔室:
Ø105英寸,l 16.5

室内数量:
24.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体激活

Tetra 30 PCCE.

控制柜:
W 600 mm H 1700 mm d 800 mm

腔室:
W 12“x H 11.8”x d 14.6“

室内数量:
30.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
触摸屏

等离子体涂层

Tetra 30 PC

控制柜:
W 600 mm H 1700 mm d 800 mm

腔室:
W 12“x H 11.8”x d 14.6“

室内数量:
30.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

血浆清洁

Tetra 50 PCCE.

控制柜:
W 600 mm H 1700 mm d 800 mm

腔室:
宽12英寸x高11.8英寸x深24.6英寸

室内数量:
50.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
触摸屏

TETRA 50 LF PC

控制柜:
W 600 mm H 1700 mm d 800 mm

腔室:
宽12英寸x高11.8英寸x深24.6英寸

室内数量:
50.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体激活

Tetra 100 PCCE.

控制柜:
W 600 mm H 1700 mm d 800 mm

腔室:
W 15.8“x H 15.8”x d 24.6“

室内数量:
100.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
触摸屏

等离子体涂层

Tetra 100 PC.

控制柜:
W 600 mm H 1700 mm d 800 mm

腔室:
W 15.8“x H 15.8”x d 24.6“

室内数量:
100.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体蚀刻

Tetra 150 PCCE.

控制柜:
W 600 mm H 2100 mm d 800 mm

腔室:
W 15.8“x H 23.6”x d 24.6“

室内数量:
150.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
触摸屏

等离子体涂层

TETRA 150 PC.

控制柜:
W 600 mm H 2100 mm d 800 mm

腔室:
W 15.8“x H 23.6”x d 24.6“

室内数量:
150.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体asher

特殊TETRA 15-LF-PC

控制柜:
W 600 mm H 1700 mm d 800 mm

腔室:

室内数量:
15.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体蚀刻

特殊TETRA 30-LF-PC

控制柜:
W 600 mm H 1700 mm d 800 mm

腔室:
W 12“x H 11.8”x d 14.6“

室内数量:
30.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

血浆清洁

特殊TETRA 100-LF-PC

控制柜:
W 600 mm H 1700 mm d 800 mm

腔室:
W 15.8“x H 15.8”x d 24.6“

室内数量:
100.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体激活

特殊TETRA 120-LF-PC

控制柜:
W 600 mm H 1700 mm d 800 mm

腔室:

室内数量:
120.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体激活

特殊TETRA 130-LF-PC

控制柜:
W 600 mm H 1700 mm d 800 mm

腔室:

室内数量:

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体激活

特殊TETRA 140-LF-PC

控制柜:
W 600 mm H 1700 mm d 800 mm

腔室:

室内数量:
140.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体蚀刻

特殊TETRA 140-LF-PC-2

控制柜:
W 600 mm H 1700 mm d 800 mm

腔室:

室内数量:
140.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体激活

特殊TETRA 150-LF-PC

控制柜:
W 600 mm H 2100 mm d 800 mm

腔室:
W 15.8“x H 23.6”x d 24.6“

室内数量:
150.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

血浆清洁

特殊TETRA 240-LF-PC

控制柜:
W 870 mm H 1860 mm d 1400 mm

腔室:

室内数量:
240.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体蚀刻

特殊TETRA 260-LF-PC

控制柜:
W 870 mm H 1860 mm d 1400 mm

腔室:

室内数量:
260.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体激活

特殊TETRA 375-LF-PC

控制柜:
W 870 mm H 1860 mm d 1400 mm

腔室:

室内数量:
375.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体激活

特殊TETRA 400-LF-PC

控制柜:
W 600 mm H 2100 mm d 800 mm

腔室:

室内数量:
400.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体蚀刻

特殊TETRA 420-LF-PC-PCB

控制柜:
W 600 mm H 2100 mm d 800 mm

腔室:

室内数量:
420.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

血浆清洁

特殊TETRA 500-LF-PC

控制柜:
W 600 mm H 2100 mm d 800 mm

腔室:

室内数量:
500.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体蚀刻

特殊TETRA 575-LF-PC

控制柜:
W 600 mm H 2100 mm d 800 mm

腔室:

室内数量:
575.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体激活

特殊TETRA 600-LF-PC

控制柜:
W 600 mm H 2100 mm d 800 mm

腔室:

室内数量:
600

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

血浆清洁

特殊TETRA 600-LF-PC-D V1

控制柜:
W 600 mm H 2100 mm d 800 mm

腔室:

室内数量:
600

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体蚀刻

特殊TETRA 600-LF-PC-D V 2

控制柜:
W 600 mm H 2100 mm d 800 mm

腔室:

室内数量:
600

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体激活

特殊TETRA 2000-RF-PC

控制柜:
W 600 mm H 2100 mm d 800 mm

腔室:

室内数量:
2000年

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

血浆清洁

特殊TETRA 2400-LF-PC

控制柜:
W 600 mm H 2100 mm d 800 mm

腔室:

室内数量:
2400.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体蚀刻

特殊TETRA 2800-LF-PC

控制柜:
W 600 mm H 2100 mm d 800 mm

腔室:

室内数量:
2800

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体激活

特殊TETRA 4400-LF-PC

控制柜:
W 600 mm H 2100 mm d 800 mm

腔室:

室内数量:
4400.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体涂层

特殊TETRA 5600-LF-PC

控制柜:
W 600 mm H 2100 mm d 800 mm

腔室:

室内数量:
5600

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

血浆清洁

特殊TETRA 7000-LF-PC

控制柜:
W 600 mm H 2100 mm d 800 mm

腔室:

室内数量:
7000.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体蚀刻

特殊TETRA 7500-LF-PC

控制柜:
W 600 mm H 2100 mm d 800 mm

腔室:

室内数量:
7500.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体激活

特殊TETRA 8000-LF-PC

控制柜:
W 600 mm H 2100 mm d 800 mm

腔室:

室内数量:
8000.

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体激活

特殊TETRA 12600-LF-PC

控制柜:
W 600 mm H 2100 mm d 800 mm

腔室:

室内数量:
12600

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz或2.45 GHz)

控制:
个人电脑

等离子体激活

Yocto版本1

控制柜:
W 150 mm H 100 mm d 450 mm

腔室:
Ø1.97in,l 5.9

室内数量:
.3

气体供应:
1天气通道通过针阀

发电机:
1个。40 kHz.

控制:
半自动

血浆清洁

Zepto版本1

控制柜:
W 425 mm H 185 mm d 450 mm

腔室:
Ø4.1in,l 11.8

室内数量:
2.6

气体供应:
1天气通道通过针阀

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz)

控制:
半自动

等离子体激活

Zepto版本2.

控制柜:
W 425 mm H 185 mm d 450 mm

腔室:
Ø4.1in,l 11.8

室内数量:
2.6

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz)

控制:
旋转控制

PDMS等离子体处理

Zepto版本3.

控制柜:
W 425 mm H 185 mm d 450 mm

腔室:
Ø4.1in,l 11.8

室内数量:
2.6

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz)

控制:
触摸屏

等离子体激活

Zepto版本4.

控制柜:
W 425 mm H 185 mm d 450 mm

腔室:
Ø4.1in,l 11.8

室内数量:
2.6

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz)

控制:
外部PC.

血浆清洁

ATTO版本1

控制柜:
W 425毫米H 275毫米D 450毫米

腔室:
Ø8.3in,l 11.8

室内数量:
10.5

气体供应:
1天气通道通过针阀

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz)

控制:
半自动

等离子体激活

ATTO版本2.

控制柜:
W 425毫米H 275毫米D 450毫米

腔室:
Ø8.3in,l 11.8

室内数量:
10.5

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz)

控制:
旋转控制

PDMS等离子体处理

ATTO版本3.

控制柜:
W 425毫米H 275毫米D 450毫米

腔室:
Ø8.3in,l 11.8

室内数量:
10.5

气体供应:
质量流量控制器

发电机:
1个。40 kHz.
(可选:13.56 MHz)

控制:
触摸屏

电晕等离子源

APC 500电晕等离子源

控制柜:
W 562 mm H 211 mm d 450 mm

腔室:

室内数量:

气体供应:

发电机:
1个。40 kHz.

控制:
半自动

大气等离子体源

等离子梁

控制柜:
W 562 mm H 211 mm d 450 mm

腔室:

室内数量:

气体供应:

发电机:
1个。40 kHz.

控制:
半自动

大气等离子体源

等离子束PC.

控制柜:
W 562 mm H 211 mm d 450 mm

腔室:

室内数量:

气体供应:

发电机:
1个。40 kHz.

控制:
个人电脑

大气等离子体源

等离子束二元

控制柜:
W 562 mm H 211 mm d 450 mm

腔室:

室内数量:

气体供应:

发电机:
1个。40 kHz.

控制:
半自动

大气等离子体源

等离子束二元

控制柜:
W 562 mm H 360 mm d 650 mm

腔室:

室内数量:

气体供应:

发电机:
1个。40 kHz.

控制:
个人电脑

Tetra 45 PC.

控制柜:
W 875mm D 1000 mm H 1700 mm

腔室:
W 572 mm D 650 mm H 125 mm

室内数量:
45.

气体供应:
2 - 6 MFCS

发电机:
80 kHz - 1000瓦
(13.56兆赫)

控制:
个人电脑

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